电脑教程光刻机分类有哪些类型的 光刻机分类有哪些类型的 光刻机分类主要根据光源类型和光刻方式：一、光源类型紫外（uv）光刻机极紫外（euv）光刻机二、光刻方式接触式光刻（已淘汰）近距离曝光（proximity）光刻投影式光刻（主流方式）浸没式光刻 a) 水浸没式光刻 b) 油浸没式光刻 光刻机类型 光刻机是一种... app 3个月前 (11-04) 1℃ 0喜欢
