电脑教程光刻机是怎么工作的原理分析 光刻机是怎么工作的原理分析 光刻机是一种以极高精度将电路图案转移到晶圆上的设备，其运作原理如下：准备光掩模（刻有电路图案的玻璃板）；生成紫外光源（波长极短）；投射光束（通过透镜系统）；照射晶圆（光束穿透光掩模，曝光未被遮挡区域）；显影光刻胶（曝光区域溶解，保留图案）；蚀刻晶圆（去... app 4个月前 (11-04) 1℃ 0喜欢
