电脑教程光刻机的分类和参数 光刻机的分类和参数 根据光源类型，光刻机分为：i线、krf、arf 和 euv 光刻机。光刻机的性能由分辨率、套刻精度、曝光场、吞吐量、生产力和波长等参数描述，其中波长决定了分辨率和套刻精度。 光刻机的分类 光刻机根据其光源类型可分为： i线光刻机：使用波长为 365 纳米的 i... app 4周前 (12-01) 1℃ 0喜欢
