电脑教程光刻机的分类和参数表 光刻机的分类和参数表 光刻机分为两类：接触式（直接接触掩模和晶圆）和投影式（将掩模图案投影到晶圆）。光刻机参数包括分辨率、深度聚焦、对准精度、重复精度、曝光场大小、光源波长、模板类型、通量、引线时间和造价。 光刻机的分类 光刻机根据其曝光方式可分为接触式和投影式两类。 接触式光刻... app 4个月前 (11-04) 1℃ 0喜欢
