电脑教程光刻机的分类和比较分析 光刻机的分类和比较分析 光刻机有三种类型：紫外线（uv）、浸入式和极紫外线（euv）。它们按分辨率、成本、光源类型和光学原理分类。紫外线分辨率最低，但成本最低。浸入式分辨率更高，但成本较高。euv分辨率最高，但最复杂、最昂贵。它们在市场上的渗透率依次为高、中、低。 光刻机的分类和... app 4个月前 (11-04) 1℃ 0喜欢
