电脑教程光刻机的分类有什么 光刻机的分类有什么 光刻机按光源类型和光刻工艺分类：曝光光源：紫外光光刻机（紫外光波长）和极紫外光光刻机（波长 13.5nm）。光刻工艺：接触式（直接接触）、接近式（微小间隙）和投影式（通过镜头投影）。综合分类：krf 光刻机（紫外光接近式）、arf 光刻机（紫外光投影式）、eu... app 3个月前 (11-04) 1℃ 0喜欢
