电脑教程光刻机的用途分类 光刻机的用途分类 光刻机分为接触式（用于低分辨率芯片）和投影式（用于高分辨率芯片），它们的区别在于光掩模与晶圆的接触方式。接触式光刻机直接接触，分辨率低；投影式光刻机使用透镜系统投影，分辨率高。此外，还有更先进的光刻技术，如浸没式、euv 和多电子束光刻机。 光刻机的用途分类 光... app 3周前 (12-01) 1℃ 0喜欢
