电脑教程光刻机的结构和工作原理详解 光刻机的结构和工作原理详解 光刻机主要包括光源系统、光学系统、掩模版、基板、曝光台、对准系统、抗蚀剂和显影剂。光刻过程涉及基板准备、对齐、曝光、显影、蚀刻和去除光刻胶等步骤。光刻机的关键特性包括分辨率、覆盖范围、对准精度和吞吐量。 光刻机的结构和工作原理 结构 光刻机主要由以下部... app 3个月前 (12-01) 1℃ 0喜欢
